องค์ประกอบตัวกรองหมอกน้ํามันสําหรับการบํารุงรักษาเครื่องนึ่งฆ่าเชื้อพลาสม่าอุณหภูมิต่ํา PS100X แบ่งออกเป็นพอร์ตไหมด้านในและด้านนอก